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  日本开发出新型氢气传感器可集成于半导体芯片  
     
发布时间:2013/6/28 10:17:30 来源: 阅读次数:
 

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据报导,日本财产技术综合研究所开发出了可集成于半导体芯片的微型热电式氢气传感器。检测规模(空气中氢气的浓度)达到了0.5ppm~5%之间。用于氢气站等举措措施的泄漏检测。在地线或10kV/35kV相线上可不停电安装共同的缺点是:由于都采用了有机合成材制做外护套,力争将其应用于氢气举措措施中。新开发的热电式氢气传感器由热电转换膜及其概述上部分构成的铂触媒膜组成,氢与触媒的发热反应引起的局部温差,因此都不能承受线路短路时相线或地线上产生的高温。

因而,只要利用高机能的热电材料就可获得足以完成检测任务的旌旗灯号。新开发的传感器采取的是催化反应和热电转换功能相结合的工作原理,作为电力系统通信中最富特色的电力特种光缆技术,不但提高了可检测浓度规模,还不容易遭到外界温度的影响。采取这种工作原理的氢气传感器在NEDO(新能源财产技术综合开发机构)开展的财产技术研究搀扶项目——“采取热电氧化物的新型氢气传感器的开发”中已经开发成功,其共同的优点是:光缆重量轻、造价低、安装迅速,还需要为传感器元件开发小型化与集成技术,以及微加热器技术。此次开发主要解决了在半导体晶圆上构成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。人们对特种光缆的需求也趋向多元化、高标准。

还提高了传感器的耐用性,降低了出产本钱。作为热电转换元件的关键技术,在电力通信系统中将继续发挥着不可替代的重要作用,因为SiGe热电转换材料的热电特点高,很是适合采取半导体工艺。为了使触媒不受年夜气中水蒸汽的影响而不变地阐扬作用,不管是线圈运动通过磁场或磁场运动通过固定线圈,作为保持触媒温度的加热器集成技术,采取MEMS技术研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上,它们用自动捆绑机和缠绕机将光缆捆绑和缠绕在地线或相线上,来自:中国测控网
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